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超精密气浮旋转平台
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超精密气浮旋转平台

属分类： 运动控制>> 运动控制系统


关键词：气浮、运动控制、纳米定位、半导体检测、激光微加工


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▪   微米和纳米量级断层扫描

▪   超精度精密加工

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▪   医疗和研究设备

▪   分度工作台

▪   激光微加工

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