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高精度直线运动系统
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高精度直线运动系统

属分类： 运动控制>> 运动控制系统


关键词：气浮、运动控制、纳米定位、半导体检测、激光微加工


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商品描述

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关键词：气浮、运动控制、纳米定位、半导体检测、激光微加工


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主要应用

▪   高性能扫描

▪   光学检测系统

▪   超精密磨铣

▪   光伏系统

▪   医疗系统

▪   X射线

▪   激光加工

▪   半导体工业

▪   晶圆传送


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