摘 要 近年来，空间光调制器被广泛应用到超快激光加工像差矫正、多焦点平行加工、二维面加工、三维体加工、脉冲时空整形、结构光加工等不同领域。本文对空间光调制器的原理进行了介绍，阐述了空间光调制器的全息图生成算法，并着重介绍了空间光调制器在超快激光加工领域中的应用。关键词 超快激光加工；空间光调制器；全息图
Principles and applications of ultrafast laser processing based on spatial light modulators
Liu Siyuan1,2, Zhang Jingyu1,2*1
Wuhan National Laboratory for Optoelectronics, Huazhong University of Science
and Technology, Wuhan, Hubei 430074, China;2 Key Laboratory of Information Storage System
Ministry of Education of China, Huazhong University of Science and Technology, Wuhan, Hubei 430074, China
Key words ultrafast laser material processing; spatial light modulator; computer generated hologram
OCIS codes 140.7090; 070.6120; 140.3390; 090.1760
1 引 言
超快激光加工技术作为一种“冷”加工方式，其超短的脉冲宽度降低了热效应对加工区域的影响，大幅提升了加工质量；超快激光加工技术也是一种超“强”加工方式，聚焦后极高的峰值功率可以产生非线性光学现象，能够在几乎任意材料上实现加工；超快激光加工还是一种超“精”加工方式，利用高数值孔径物镜聚焦，通过多光子吸收效应可在亚微米尺度的焦点区域进行材料改性。因为这些特性，超快激光加工技术被广泛应用到激光切割[1]、激光焊接[2]、3D打印[3]、激光手术[4]、超表面结构制造[5]、微流体[6]、光存储[7]、材料表面改性[8]、量子点[9]等领域。
