液晶硅基空间光调制器（LCOS-SLM）采用LCOS（Liquid Crystal On Silicon, 硅基液晶）芯片来调节光波前的振幅或相位，而LCOS芯片是由液晶像元组成的像素阵列，每个像素都能单独地调制光。LCOS-SLM以高线性度、高光利用率、高衍射效率等性能著称，从学术到产业的诸多领域有着广泛的应用，今天我们就来介绍这些应用的具体实例。
// 激光加工-SLM应用于三维直接光刻中的多点加工
现代激光加工，以超快激光加工为主，即使用高强度的超快激光进行材料加工，具有峰值功率高、热熔区域小、加工速度快和重复精度高等特点。
如下图是浙大邱建荣教授团队与之江实验室谭德志博士团队合作，在Science发表的题为“Three-dimensional directlithography of stable perovskitenanocrystals in glass”的文章，研究报告了具有可调成分和玻璃带隙的钙钛矿纳米晶体（PNCs）的三维 (3D) 直接光刻。
研究团队在实验中，选用了滨松LCOS-SLM。论文中提到拥有1280 ×1024像素的X13138，其光利用率高达90%以上（有实测显示可达97%），实验使用了2500 mW的激光，通过SLM调制出一个3 × 3的激光点阵，以9道独立的激光光束聚焦至玻璃内部，进行了多点加工。
参考文献：Sun K, Tan D, Fang X, et al. Three-dimensional direct lithography of stable perovskite nanocrystals in glass[J]. Science, 2022, 375(6578): 307-310.
