2-1. 传感器读出结构
如下图2-1是ORCA-Quest相机qCMOS传感器的读出结构,和标准sCMOS传感器的非常相似。每一个像素有一个光电二极管(PD)和浮动扩散放大器(FDA)。在PD中,光子转化为光电子,在FDA中,光电子转化为电压。FDA是传感器产生读出噪声的主要因素。每一列有两个相关双采样(CDSs)和列模数转换器(ADCs)。奇数和偶数行同时从顶部和底部读出,奇数和偶数行通过不同的CDSs和ADCs读出。
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2-2. 背照式传感器
ORCA-Quest相机qCMOS传感器,是最前沿的背照式传感器,不仅仅有高QE,还具有高分辨率。
2-3. 深沟槽隔绝结构
ORCA-Quest具有深沟槽像素结构,是科学级图像传感器的创新。背照式传感器的厚度被减薄到小于20μm,来获得在短波和可见光波长的高分辨率。对于具有小像素尺寸的传感器,需要较薄的传感器来获得高分辨率。相反,越薄的传感器会造成在近红外波长(NIR)较低的量子效率。所以,对传感器厚度,在分辨率和量子效率之间就要做一个权衡。
ORCA-Quest的传感器,在每个像素上都有深沟槽结构,有足够的厚度来保证NIR-QE,即使传感器尺寸只有4.6μm,也可以同时具有高分辨率和NIE-QE。沟槽结构可以反射入射的光子,防止光子到相邻的像素上去。不仅仅是入射光子,也可以防止光电子迁移到相邻像素。
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2-4. 片上微透镜
ORCA-Quest的每一个像素上都具有片上微透镜,微透镜可以补偿因为深沟槽隔离(DTI)结构造成的有效面积损失,从而提高量子效率。
2-5. 量子效率
如下图2-3是ORCA-Quest的量子效率曲线,峰值量子效率90%@475nm,33%@900nm,即使像素尺寸只有4.6μm,在750nm-1000nm之间的近红外区域量子效率也特别高。
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2-6. MTF(调制传递函数)
qCMOS传感器具有深沟槽结构,可以隔绝像素,并且限制电子转移到相邻像素上,这样会提高MTF。图2-4显示qCMOS和BSI第二代sCMOS在565nm的MTF对比,可以看到qCMOS具有更好的MTF。因为两个传感器的像素尺寸不同,这个图显示了补偿了像素尺寸差别的归一化的MTF。
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2-7.