随着科技行业的发展，对于机械运动控制精度的要求日益提高，越来越多的直线运动平台和龙门系统开始采用气浮轴承技术。当讨论直线平台的时候，以行驶的汽车为例，几个典型的误差经常被用来衡量平台的精度高低：
▪ 直线度 / Straightness
▪ 平面度 / Flatness
▪ 俯仰 / Pitch
▪ 偏摆 / Yaw
▪ 翻滚 / Roll
Figure 1,线性平台的典型误差
以LAB公司为瑞士国家计量院（Federal Institute of Metrology METAS，www.metas.ch）提供的用于三维计算机断层成像检测（3-Dimensional Computed Tomograph）的4轴系统为例（图2），详细介绍一下气浮直线平台的典型参数。
该平台由一个双气浮X轴，一个气浮Z轴和一个气浮转台组成。双X轴的行程为1000mm，Z轴行程为300mm，Z轴上的气浮转台直径150mm。该平台被用来以亚微米的分辨率测量毫米和厘米尺寸的工件，并以此来进行X-ray CT检测以及测量的可追溯性的相关研究。
图4a展示了用于测量Z轴的直线度（TZX）和角度误差（RZY）的方法，图4b的具体测量结果显示，300mm行程的气浮Z轴的几个典型精度误差为：
▪ 行程300mm
▪ 水平方向直线度 ± 0.2µm（全行程）
▪ 垂直方向直线度 ± 1µm（全行程）
▪ 俯仰Pitch ± 7µrad（全行程）
▪ 偏摆Yaw ± 2µrad（全行程）
图5展示了双X轴的相关参数的具体测量方法，测量结果如图6所示：
▪ 行程1000mm
▪ 直线度± 0.4µm（全行程）
▪ 平面度± 0.4µm（全行程）
▪ 俯仰Pitch± 2µrad（全行程）
▪ 翻滚Roll± 3µrad（全行程）
▪ 偏摆Yaw± 3µrad（全行程）
以上我们通过METAS的X-ray CT检测系统的实际测量结果，呈现了气浮轴承直线平台在精度方面的优势。当然整个系统的集成技术也尤为关键，例如确保X轴与Z轴的垂直度。另外双X轴所在的大理石平台以及隔振系统为整个系统提供了支撑，可有效的消除震动并确保长期的热稳定性和机械稳定性。
以下为LAB公司部分标准气浮轴承直线平台产品及相关参数，更高精度要求请联系北京拓普光研，覃斌 18702737266，quincyqin@topphotonics.cn。
LAB Motion Systems公司2005年成立于比利时著名的大学城鲁汶，是天主教鲁汶大学孵化出的企业，公司的全称是Leuven Air Bearings NV。LAB是全球领先的气浮运动控制系统供应商，公司为用户提供基于气浮轴承技术的纳米精度运动控制系统，包括气浮转台和多轴运动控制平台。其气浮转台的端跳和径跳可以达到<20nm的精度。
北京拓普光研科技发展有限公司（www.topphotonics.com）是LAB在中国的代理商，致力于LAB产品在半导体检测、量子光学、激光微加工、精密测量、天文、CT等领域的应用推广。
